Facility

Office: D13, Room 312

• Sputter-1 (IZU-IMI330, Ulvac/IZUMI Tech Co., Ltd.）
• Sputter-2 (ES-350SU, EIKO)
• MBE-1（EIKO）
• MBE-2（EIKO）
• Evaporation system（SVC-770TM SG/SVC-7PS 80, SANYU ELECTRON）
• XRD（SmartLab, RIGAKU）
• PL/Raman（HORIBA）
• RTA（MILA-5000, Ulvac）
• Electric furnace-1
• Electric furnace-2
• Prober-1
• Prober-2
• AFM（INNOVA, BRUKER）
• Optical Microscope（BX51, Olympus）
• UV-Vis Spectrometer（UV-1800, Shimadzu）
• DI Water（Direct-Q UV, Merck Millipore）
• EMF Measurement systerm